Το ηλεκτρονικό μικροσκόπιο περιλαμβάνει τα αναλυτικά σύστημα EDS και EBSD.
EDS – Energy Dispercive Spectroscopy
Σημειακή χημική ανάλυση και χημική χαρτογράφηση.
EBSD – Electron Backscatter Diffraction
Σημειακή δομική ανάλυση και δομική χαρτογράφηση.